二十一世纪第二个十年,全球科技竞争版图风云激荡,半导体 —— 这枚现代工业的 “心脏”,成为了大国博弈的焦点与衡量科技自立自强的标尺。彼时,中国虽是全球最大的芯片消费与封测基地,但产业链的关键上游,特别是作为 “工业母机” 的高端半导体制造与封装设备,却长期笼罩在技术依赖与供给风险的阴霾之下:
全球超过 70% 的芯片封装测试在中国完成,而支撑这一庞大制造体系的核心装备,其国产化率竟不足 10%。高端市场被来自美国、日本、荷兰的少数巨头牢牢筑起技术壁垒与商业护城河,中国产业界所能触及的,常常只是生产车间外那块冰冷而刺眼的标识 ——“非授权人员禁止入内”。
这块牌子,如同一个时代的隐喻,深深刺痛了彼时身为一线技术工程师的肖锦成。“那一刻我就明白,没有自己的设备,我们的半导体产业就像被人扼住了咽喉。” 肖锦成回忆道。这颗 “必须做出中国人自己的高端封装设备” 的种子,在他心中埋藏了近十年,直至国家将半导体设备列为重点突破方向,才真正破土而出。2019 年,苏州尊恒半导体科技有限公司在昆山成立,肖锦成毅然闯入了被国际巨头把持的 “扇出型面板级封装(FOPLP)” 这一前沿赛道。
创业维艰,尤其是从零开始攀登半导体设备这座技术高峰。团队面临的第一个挑战,是国内相关技术几乎一片空白。“所有设备,从原理到结构,都得靠自己一点点摸索、试错。” 肖锦成说。更大的困难在于市场信任的缺失。“那时客户一听是国产设备,第一反应就是质疑。我们拿着图纸和方案去拜访,得到的常常是礼貌的婉拒。”
然而,封锁与轻视,反而淬炼出尊恒团队更坚定的斗志。他们从最基础的电镀工艺研究起步,向 “大尺寸玻璃基板翘曲控制”“多面垂直互联深孔电镀” 等一系列业内公认的技术堡垒发起攻坚。功夫不负有心人,2022 年,当尊恒研发的首台全自动 FOPLP 电镀设备交付给江苏华天科技时,现场对比令客户震撼:实现相同产能,国外半自动设备需要 3 台,而尊恒只需 1 台,设备成本却只有进口设备的四分之一。更重要的是,设备核心指标 —— 电镀铜厚度均匀性偏差控制在 ±5% 以内,远超国外同类设备 ±15% 的水平。这不仅是一台设备的交付,更是一个信号的释放:中国企业在高端封装设备领域,已经具备了打破垄断、定义标准的能力。
这一从无到有、从追赶到并跑的突破,如同一把锋利的楔子,为中国半导体装备自主化进程撬开了一道坚实的缝隙。然而,对于肖锦成和尊恒而言,交付一台领先的设备,仅仅是故事的起点。他们深知,真正的 “破壁”,不仅在于单点技术的突破,更在于构建一套从设备、工艺到材料的完整自主体系,以此为基础,为整个中国封装产业铸造一柄足以定标未来的 “重器”。一场更深层次、更体系化的创新征程,已然在脚下铺开。
尊恒半导体的突破,远不止于单台设备的替代。肖锦成带领团队所做的,是围绕 FOPLP 这一先进封装路线,进行从设备到工艺再到材料的全链条自主重构,为中国半导体封装产业树立了一套全新的 “中国标准”。
技术突破的核心,体现在 ZH868-DD082 大板级智能封装 TGV 电镀设备上。其采用的 510mm×515mm 玻璃基板,面积是传统 12 英寸晶圆的 4 倍,材料利用率从 85% 跃升至 95% 以上。尤为关键的是,尊恒在全球范围内率先攻克了≥1:15 至 1:25AR 高深径比的种子层电镀技术,通过独创的 “垂直电镀涡流技术”,实现了玻璃通孔的实心填充,良率提升 4−6%,为后续玻璃基面向芯片集成、2.5D/3D 堆叠和光电共封装 CPO 等尖端方向铺平了道路。
“设备是骨架,工艺是神经,药水则是血液。” 肖锦成深谙此道。在行业普遍 “先买设备,再调试工艺” 的惯例下,他做出了一个颠覆性决策:率先成立业内首家 “电化镀研究院” 及 “药水联合开发打样实验室”。这意味着,尊恒在销售设备之前,就已为客户先行验证工艺、匹配专用药水配方。“客户是先看到打样产品符合预期,才下订单。这彻底改变了游戏规则,将风险与不确定性留给我们自己,将确定性与效率带给客户。” 这一模式深受下游封装大厂认可,也成为尊恒构建技术护城河的关键一环。
肖锦成将这种高效且贴近客户的研发能力,归结于一套独特的 “三方联动” 研发体系:尊恒的研发团队、客户的工艺团队、以及下游终端应用的需求方,形成一个 “零损耗” 的闭环沟通机制。同时,公司内部设立三个研发部并行竞争,优胜方案获得奖励并主导下一代研发。这种机制确保了技术创新始终以市场需求为牵引,实现了 “两年两代” 的惊人迭代速度。截至 2025 年,尊恒已累计获得授权发明专利 19 件、实用新型专利 24 件、软件著作权 22 件,正在申请的专利超过 80 件。
半导体装备是知识密集型产业,一切的竞争,归根结底是人才的竞争。在尊恒,70 余人的研发设计工程师团队占员工总数 60% 以上,其中更特聘了多位拥有 15−30 年经验、来自应材、泛林、东电等国际巨头的顶尖专家。如何吸引并留住这些高端人才?肖锦成的答案简单而深刻:“人才是企业的主人,老板是为人才服务的。”
在尊恒,技术人才享有行业领先的薪资待遇和福利保障,但更深层的吸引力源于两套机制。其一是 “技术合伙人” 制度,公司拿出 30% 的股权用于核心人才激励,让工程师们真正从 “打工者” 转变为 “事业共同体”。其二是 “实战式成长” 平台。由于尊恒的设备直接切入行业最前沿的 “卡脖子” 环节,技术团队得以在与国内一流封装客户的深度合作中,接触最尖端的工艺难题,实现技术的快速迭代与个人价值的极大提升。
这套 “服务人才” 与 “共建事业” 的复合机制,成效远超单纯的人力资源管理。它不仅凝聚了团队,更在内部催生一个持续进化的技术创新生态。国际视野与本土产业痛点在此深度融合,顶尖专家的经验与一线工程师的实干能力相互激发,使尊恒能够针对最复杂的需求,快速形成原创性解决方案。肖锦成将研发比作 “坚持把想法变成现实” 的漫长旅程,而优秀的人才是这条路上最可靠的同行者。正因如此,尊恒才能将客户需求,转化为 “两年两代” 的产品迭代节奏。人才的高密度聚合与高效协同,本身已成为尊恒最难以复制的核心壁垒。
肖锦成本人既是战略制定者,也是技术攻坚者。他深度参与每一代产品的架构设计,甚至亲自钻研发动机机床加工精度对设备稳定性的影响。他常说:“创始人不能只懂技术或只懂管理,必须既看得懂图纸,也看得懂市场,还要深谙企业运营。” 这种身体力行的风格,塑造了尊恒务实、专注、极致的工程师文化。正是这支以应用型人才为主的务实团队,用 “把不可能变成可能” 的信念,将一张张技术图纸,转化为车间里稳定运行的 “大国重器”。
2024 年 8 月,尊恒半导体为江苏华天科技提供的全球首条全自动 FOPLP 封装线实现小批量量产;2025 年 2 月,第二代更先进的整线设备交付江苏盘古半导体新厂,即将规模化量产。这两个标志性事件,意味着尊恒的板级封装解决方案已从技术突破迈入商业落地与产业引领的新阶段。
站在 2025 年的新起点,作为省级专精特新企业的尊恒,因其在细分领域的突破性贡献,正成为行业关注的焦点。面前是更为广阔的时代浪潮,人工智能、自动驾驶、5G 通信等产业的爆发,对芯片的性能、集成度和成本提出了近乎苛刻的要求。FOPLP 板级封装技术,以其高密度、低成本等优势,正成为满足前沿领域对芯片性能与成本严苛需求的关键技术。肖锦成敏锐地指出:“汽车中约 66% 的芯片都适用板级封装,AI 芯片更是其最大的潜力市场。我们的技术,未来将直接支撑 HPC、GPU 乃至 HBM 等高端芯片的封装需求。”
市场的反馈炽热而直接。尊恒的设备订单已排期至 2027 年。客户的高度认可,集中于四个 “高”:高性价比、高产能、高良率、高稳定性。这背后,是尊恒从单一的设备销售商,向能够提供 “设备-工艺-材料” 一体化解决方案的系统服务商成功转型。
对于未来,肖锦成的规划清晰而坚定:未来一年,研发 30 台以上新型半导体装备,取得更多发明专利;开拓三家以上国内封装测试前十强企业。但他目光所及,远不止商业版图。“我们最大的价值,在于通过自主创新的设备,帮助中国封装产业建立起成本、效率和供应链安全上的综合优势,从而增强中国芯在全球的竞争力。”
从叩击那扇紧闭的技术之门,到亲手绘制新的产业坐标,肖锦成与尊恒半导体的故事,是中国高端制造攻坚克难的缩影。它印证着一个朴素的真理:当创新者的热血融入国家产业的洪流,再高的技术壁垒,也终将成为通往星辰大海的阶梯。在这条充满挑战的 “芯路” 上,尊恒正以破壁者的勇气和定标人的智慧,为中国半导体装备的自主可控,铺设一条坚实而宽广的跑道。
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